ガス供給装置３は、縮径端３２ａ側から拡径端３２ｂ側にガスを通流させるための概ね円錐形状のガス通流空間３２を形成する本体部３１と、ガス通流空間３２の縮径端３２ａ側に設けられ、ガス通流空間３２にガスを導入するためのガス導入ポート６１ａ～６３ａ、６１ｂ～６３ｂ、６４と、ガス通流空間３２内に設けられ、ガス通流空間３２を同心円状に区画する複数の区画部材４１～４６と、を備えている。一の区画部材４２～４６の末広がりの程度は、径方向内側に隣接する区画部材４１～４５の末広がりの程度より大きい。このことにより、従来のガスシャワーヘッドに比べてガス供給装置内部のガス流路におけるコンダクタンスを大きくして、そのガス流路におけるガスの置換性を向上させることができる。