本発明は、入力流路に供給された流体を３以上の出力流路に均等分配して出力する流体分配装置であって、複数の枝流路を組み合わせて形成され、少なくとも３つの流体の分流部と少なくとも１つの流体の合流部とを備え、流体収支式と圧力バランス式からなる圧力損失コンパートメント連結モデルに対応するように形成されることを特徴とする流体分配装置を提供する。また、この流体分配装置を用いたマイクロプラント、この流体分配装置の設計方法及びこの流体分配装置の流路閉塞検知方法を提供する。