回転部と固定部との物理的な接触、及び、固体生成物の堆積量が回転部と固定部とのクリアランスに達したことを精度よく検出する。 　ねじ溝スペーサの外周面上に空隙を利用して振動センサを設ける。回転部と固定部との接触に起因する特定振動が所定の閾値レベルを超える場合、回転部と固定部との接触が生じたと判断する。また、ねじ溝スペーサの外周面における排気口側の端に振動センサを設ける。遮断周波数ｆｃ１の減衰特性を有する弾性部材（Ｏリング）を介して、ねじ溝スペーサを外装体に固定する。振動センサから出力される振動信号は、デジタル振動信号に変換され、ｆｃ１～ｆｃ２［Ｈｚ］帯域を通過帯域とするデジタルフィルタに入力される。デジタルフィルタを通過した振動信号の振動レベルが所定の閾値を超えた場合、ターボ分子ポンプにおいて回転部と固定部との接触が生じたと検知する。