发明申请
- 专利标题： TRANSPORTEINRICHTUNG UND SUBSTRATBESCHICHTUNGSANLAGE
- 专利标题（英）： Transport device and substrate coating system
- 专利标题（中）： 运输装置及基板镀膜生产线
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申请号： PCT/EP2009/062914申请日： 2009-10-05
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公开(公告)号： WO2010040720A1公开(公告)日： 2010-04-15
- 发明人: BROSI, Tobias , DIMMLER, Bernhard , PISCH, Michael , SPRECHER, Bernd
- 申请人： WÜRTH SOLAR GMBH & CO. KG , BROSI, Tobias , DIMMLER, Bernhard , PISCH, Michael , SPRECHER, Bernd
- 申请人地址： Alfred-Leikam-Straße 25 74523 Schwäbisch Hall DE
- 专利权人： WÜRTH SOLAR GMBH & CO. KG,BROSI, Tobias,DIMMLER, Bernhard,PISCH, Michael,SPRECHER, Bernd
- 当前专利权人： WÜRTH SOLAR GMBH & CO. KG,BROSI, Tobias,DIMMLER, Bernhard,PISCH, Michael,SPRECHER, Bernd
- 当前专利权人地址： Alfred-Leikam-Straße 25 74523 Schwäbisch Hall DE
- 代理机构： PATENTANWÄLTE RUFF, WILHELM, BEIER, DAUSTER & PARTNER
- 优先权： DE102008051616.3 20081006
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677
摘要：
Die Erfindung bezieht sich auf eine Transporteinrichtung mit wenigstens einer drehbeweglich angeordneten Transportrolle (1 2 ), die einen Auflagezylinderabschnitt (6) zum seitlichen Tragen eines zu transportierenden Gegenstands aufweist, sowie auf eine Sibstratbeschichtungsanlage. Erfindungsgemäß besteht die Transportrolle mindestens in ihrem Auflagezylinderabschnitt aus einem volumenkorrosionsfesten Material, und/oder die Transportrolle ist mehrteilig gebildet. Verwendung z.B. in Substratbeschichtungsanlagen bei der Photovoltaikmodulfertigung.
IPC分类:
