【課題】不純物濃度の製造ばらつきが生じたとしても、オン電圧がばらつき難いＩＧＢＴを提供する。 【解決手段】第２導電型のボディ領域内に第１導電型のフローティング領域が形成されている縦型ＩＧＢＴであって、フローティング領域とその上側のボディ領域との境界部近傍における第１導電型不純物濃度が上側から下側に向かうに従って上昇するように分布しており、フローティング領域とその下側のボディ領域との境界部近傍における第１導電型不純物濃度が上側から下側に向かうに従って低下するように分布しており、フローティング領域とその上側のボディ領域との境界部近傍における第２導電型不純物濃度が上側から下側に向かうに従って低下するように分布しており、フローティング領域とその下側のボディ領域との境界部近傍における第２導電型不純物濃度が上側から下側に向かうに従って上昇するように分布している。