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WO2010117058A1 コンタクトプローブおよびプローブユニット 审中-公开
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コンタクトプローブおよびプローブユニット
Abstract:
ビッカース硬さが450以上の導電性材料からなる線状の芯材(21)と、電気抵抗率が5.00×10 -8 Ω・m以下の導電性材料からなり、芯材(21)の外周を被覆する導電性被覆材(22)と、絶縁性材料からなり、導電性被覆材(22)の外周を被覆する絶縁被膜(23)と、縦弾性係数が1.00×10 4 kgf/mm 2 以上のばね材料からなり、絶縁被膜(23)の外周を被覆するばね性被覆材(24)と、ばね性被覆材(24)の外周を被覆するメッキ被膜(25)と、を備え、軸対称な形状とする。
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