Invention Application
- Patent Title: 냉각수가 상하층으로 구분되어 흐르는 급속열처리장치의 히터블록
- Patent Title (English): Heater block for a rapid thermal processing apparatus in which a cooling water flow is divided into an upper layer and a lower layer
- Patent Title (中): 快速热处理设备的加热器块,其中冷却水被分成上层和下层
-
Application No.: PCT/KR2010/005120Application Date: 2010-08-04
-
Publication No.: WO2011021797A2Publication Date: 2011-02-24
- Inventor: 심장우 , 김성철 , 김동현 , 전효영
- Applicant: 에이피시스템 주식회사 , 심장우 , 김성철 , 김동현 , 전효영
- Applicant Address: 경기도 화성시 동탄면 중리 605, 445-813 Gyeonggi-do KR
- Assignee: 에이피시스템 주식회사,심장우,김성철,김동현,전효영
- Current Assignee: 에이피시스템 주식회사,심장우,김성철,김동현,전효영
- Current Assignee Address: 경기도 화성시 동탄면 중리 605, 445-813 Gyeonggi-do KR
- Agency: 특허법인아주양헌
- Priority: KR10-2009-0077708 20090821
- Main IPC: H05B3/40
- IPC: H05B3/40 ; H01J7/24
Abstract:
본 발명은 가열램프가 끼워지는 램프 포켓(21)을 복수개 가지며, 냉각수 유입구(111a, 111b) 및 냉각수 유출구(112a, 112b)가 마련되어 냉각수 유입구(111a, 111b)에서 유입되어 냉각수 유출구(112a, 112b)로 토출되는 냉각수의 흐름에 의하여 램프 포켓(21)이 냉각되는 급속열처리장치의 히터블록에 관한 것으로서, 구체적으로 냉각수 유입구(111a, 111b)에서 유입되어 냉각수 유출구(112a, 112b)로 토출되는 냉각수의 흐름의 상하층으로 구분되도록 흐르도록 냉각수 유입구(111a, 111b) 및 냉각수 유출구(112a, 112b)가 각각 상하층에 구분되어 설치되는 것을 특징으로 한다. 냉각수 유입구(112a, 112b)의 유입부에는 냉각수를 측방향으로 분산시키기 위한 냉각수 분산수단(140)이 설치되는 것이 바람직하다. 본 발명에 의하면, 냉각수가 상층 및 하층으로 구분되어 흐르기 때문에 냉각효율이 증가하게 되고, 특히 가열램프의 발열이 주로 이루어지는 램프 포켓 하단부의 냉각을 극대화시킬 수 있게 된다. 또한 냉각수 분산수단의 설치로 인하여 사영역(dead zone)이 형성되는 것을 방지할 수 있어 히터블록의 전체가 골고루 냉각되게 된다.
Information query