Invention Application
- Patent Title: 半導体装置
- Patent Title (English): Semiconductor device
- Patent Title (中): 半导体器件
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Application No.: PCT/JP2010/004262Application Date: 2010-06-28
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Publication No.: WO2011058680A1Publication Date: 2011-05-19
- Inventor: 平野博茂 , 伊藤史人 , 萩原清己 , 岩瀬鉄平 , 太田行俊
- Applicant: パナソニック株式会社 , 平野博茂 , 伊藤史人 , 萩原清己 , 岩瀬鉄平 , 太田行俊
- Applicant Address: 〒5718501 大阪府門真市大字門真1006番地 Osaka JP
- Assignee: パナソニック株式会社,平野博茂,伊藤史人,萩原清己,岩瀬鉄平,太田行俊
- Current Assignee: パナソニック株式会社,平野博茂,伊藤史人,萩原清己,岩瀬鉄平,太田行俊
- Current Assignee Address: 〒5718501 大阪府門真市大字門真1006番地 Osaka JP
- Agency: 前田弘
- Priority: JP2009-259240 20091112
- Main IPC: H01L21/60
- IPC: H01L21/60 ; H01L21/3205 ; H01L23/52
Abstract:
半導体装置は、半導体基板(1)の上に形成された電極パッド(6)と、電極パッド(6)の上に形成され、且つ、電極パッド(6)の一部が露出する第1開口部を有する第1絶縁膜(7)と、第1絶縁膜(7)の上に形成され、且つ、第1開口部における少なくとも一部が露出する第2開口部を有する第2絶縁膜(8)と、第2絶縁膜(8)及び電極パッド(6)の上に形成された第1の金属層(10)とを備えている。第1の金属層(10)は、第2絶縁膜(8)の表面における第2開口部の外側である第1領域と電極パッド(6)の表面における第2開口部の内側である第2領域とにより挟まれる第3領域により分離されている。
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IPC分类: