Invention Application
- Patent Title: 実装方法及び実装装置
- Patent Title (English): Mounting method and mounting device
- Patent Title (中): 安装方法和安装设备
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Application No.: PCT/JP2010/073354Application Date: 2010-12-24
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Publication No.: WO2011081095A1Publication Date: 2011-07-07
- Inventor: 杉山 雅彦 , 中村 充一 , 篠▲崎▼ 大 , 秋山 直樹
- Applicant: 東京エレクトロン株式会社 , 杉山 雅彦 , 中村 充一 , 篠▲崎▼ 大 , 秋山 直樹
- Applicant Address: 〒1076325 東京都港区赤坂五丁目3番1号 Tokyo JP
- Assignee: 東京エレクトロン株式会社,杉山 雅彦,中村 充一,篠▲崎▼ 大,秋山 直樹
- Current Assignee: 東京エレクトロン株式会社,杉山 雅彦,中村 充一,篠▲崎▼ 大,秋山 直樹
- Current Assignee Address: 〒1076325 東京都港区赤坂五丁目3番1号 Tokyo JP
- Agency: 伊東 忠彦
- Priority: JP2009-297627 20091228
- Main IPC: H01L21/52
- IPC: H01L21/52 ; H05K13/04
Abstract:
基板上に素子を実装する実装方法は、基板の基板表面であって素子を接合する領域の親水化処理を行う第1の親水化処理工程と、素子50の素子表面の親水化処理を行う第2の親水化処理工程と、素子を、親水化処理がなされた素子表面が上方に向くように、載置部に載置する載置工程と、親水化処理がなされた素子表面に液体を塗布する塗布工程と、基板を、基板表面であって素子を接合する領域が下方に向くように、載置部の上方に配置する配置工程と、載置部の上方に配置した基板と、素子を載置した載置部とを互いに近づけ、液体と基板表面とを接触させる接触工程とを有する。
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