Invention Application
WO2011129256A1 ボンディングワイヤ 审中-公开
绑线

ボンディングワイヤ
Abstract:
 被覆層(2)に亀裂が生じても芯材(1)の耐酸化性の劣化を極力抑制する。集積回路素子の電極(a)と回路配線基板の導体配線(c)をボールボンディング法によって接続するための線径(L)12μm以上50.8μm以下のボンディングワイヤ(W)である。99.99質量%以上の銅からなる芯材(1)にAu又は白金族の少なくとも1種以上を耐酸化性を向上するために添加し、Pを電気抵抗向上のために添加し、その芯材(1)の外周全面に耐酸化性のPt又はPdの厚み(t)0.02~0.09μmの被覆層(2)を形成したものとする。このボンディングワイヤは、Pの添加によって電気抵抗値が高くなり、スパークが低電流・短時間で、安定したFABが形成できる。このとき、芯材(1)にAu又は白金族が添加されているため、Pと化合物を生成せず、耐酸化性の向上効果を担保する。このため、その被覆層に亀裂が生じても、その亀裂による芯材の耐酸化性の劣化を極力抑制する。
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