Invention Application
- Patent Title: ボンディングワイヤ
- Patent Title (English): Bonding wire
- Patent Title (中): 绑线
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Application No.: PCT/JP2011/058786Application Date: 2011-04-07
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Publication No.: WO2011129256A1Publication Date: 2011-10-20
- Inventor: 長谷川 剛
- Applicant: タツタ電線株式会社 , 長谷川 剛
- Applicant Address: 〒5788585 大阪府東大阪市岩田町2丁目3番1号 Osaka JP
- Assignee: タツタ電線株式会社,長谷川 剛
- Current Assignee: タツタ電線株式会社,長谷川 剛
- Current Assignee Address: 〒5788585 大阪府東大阪市岩田町2丁目3番1号 Osaka JP
- Agency: 鎌田 文二
- Priority: JP2010-092882 20100414
- Main IPC: H01L21/60
- IPC: H01L21/60 ; C22C9/00
Abstract:
被覆層(2)に亀裂が生じても芯材(1)の耐酸化性の劣化を極力抑制する。集積回路素子の電極(a)と回路配線基板の導体配線(c)をボールボンディング法によって接続するための線径(L)12μm以上50.8μm以下のボンディングワイヤ(W)である。99.99質量%以上の銅からなる芯材(1)にAu又は白金族の少なくとも1種以上を耐酸化性を向上するために添加し、Pを電気抵抗向上のために添加し、その芯材(1)の外周全面に耐酸化性のPt又はPdの厚み(t)0.02~0.09μmの被覆層(2)を形成したものとする。このボンディングワイヤは、Pの添加によって電気抵抗値が高くなり、スパークが低電流・短時間で、安定したFABが形成できる。このとき、芯材(1)にAu又は白金族が添加されているため、Pと化合物を生成せず、耐酸化性の向上効果を担保する。このため、その被覆層に亀裂が生じても、その亀裂による芯材の耐酸化性の劣化を極力抑制する。
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IPC分类: