Invention Application
- Patent Title: 네가티브 감광성 수지 조성물
- Patent Title (English): Negative photosensitive resin composition
- Patent Title (中): 负型光敏树脂组合物
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Application No.: PCT/KR2011/005238Application Date: 2011-07-15
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Publication No.: WO2012018181A2Publication Date: 2012-02-09
- Inventor: 여태훈 , 김병욱 , 윤혁민 , 구기혁 , 윤주표 , 김동명 , 신홍대 , 김진선 , 이상훈 , 우창민
- Applicant: 주식회사 동진쎄미켐 , 여태훈 , 김병욱 , 윤혁민 , 구기혁 , 윤주표 , 김동명 , 신홍대 , 김진선 , 이상훈 , 우창민
- Applicant Address: 인천시 서구 가좌동 472-2, 404-250 Incheon KR
- Assignee: 주식회사 동진쎄미켐,여태훈,김병욱,윤혁민,구기혁,윤주표,김동명,신홍대,김진선,이상훈,우창민
- Current Assignee: 주식회사 동진쎄미켐,여태훈,김병욱,윤혁민,구기혁,윤주표,김동명,신홍대,김진선,이상훈,우창민
- Current Assignee Address: 인천시 서구 가좌동 472-2, 404-250 Incheon KR
- Agency: 유미특허법인
- Priority: KR10-2010-0075050 20100803
- Main IPC: G03F7/075
- IPC: G03F7/075 ; G03F7/027 ; G03F7/028
Abstract:
본 발명은 장파장 UV에 감응하는 네가티브 감광성 수지 조성물에 관한 것으로, 특히 a)ⅰ) 아크릴계 공중합체, ⅱ) 폴리이미드계 공중합체, ⅲ) 실록산계 공중합체 중 단독 또는 혼합 공중합체; b) 광개시제; c) 특정 구조의 아크리딘계 광증감제(Photosensitizer)를 포함하는 네가티브 감광성 수지 조성물에 관한 것이다. 본 발명에 따른 네가티브 감광성 수지 조성물은 해상도, 투과도, 내열변색성, 접착력 등이 우수하며, 특히 405 ~ 435nm의 UV장파장에서 감도가 우수하여, GH-line 전용 노광기나 차세대 디지털 노광기에서 사용하기에 적합하다.
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