Invention Application
WO2012034951A1 DISPOSITIF A POUTRE SUSPENDUE ET MOYENS DE DETECTION PIEZORESISTIVE DU DEPLACEMENT DE CELLE-CI, ET PROCEDE DE FABRICATION DU DISPOSITIF 审中-公开
悬挂梁设备和用于检测其位移的伪装置,以及用于制造设备的方法

DISPOSITIF A POUTRE SUSPENDUE ET MOYENS DE DETECTION PIEZORESISTIVE DU DEPLACEMENT DE CELLE-CI, ET PROCEDE DE FABRICATION DU DISPOSITIF
Abstract:
Dispositif à poutre suspendue et moyens de détection piézorésistive du déplacement de celle-ci, et procédé de fabrication du dispositif. Le dispositif comprend: un support (14); une poutre suspendue (16), se déplaçant parallèlement au plan du support; et des moyens (18) de détection du déplacement, comprenant au moins deux jauges piézorésistives (20, 22) qui ne sont pas dans le prolongement l'une de l'autre. La poutre est suspendue par l'intermédiaire des moyens de détection. Selon l'invention, les deux jauges sont respectivement situées sur deux faces latérales opposées de la poutre.
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