Invention Application
WO2012036121A1 下地剤及びブロックコポリマーを含む層のパターン形成方法 审中-公开
包含块状共聚物的层的形成和图案形成方法

下地剤及びブロックコポリマーを含む層のパターン形成方法
Abstract:
 基板上に形成した複数種類のポリマーが結合したブロックコポリマーを含む層を相分離させるために用いられる下地剤であって、樹脂成分を含有し、該樹脂成分全体の構成単位のうち20モル%~80モル%が芳香族環含有モノマー由来の構成単位であることを特徴とする下地剤;及び基板(1)上に前記下地剤を塗布し、該下地剤からなる層(2)を形成する工程(1)と、複数種類のポリマーが結合したブロックコポリマーを含む層(3)を前記下地剤(2)からなる層表面に形成した後、前記ブロックコポリマーを含む層(3)を相分離する工程(2)と、前記ブロックコポリマーを含む層(3)のうち、前記ブロックコポリマーを構成する複数種類のポリマーのうちの少なくとも一種類のポリマーからなる相(3a)を選択的に除去する工程(3)と、を有することを特徴とするブロックコポリマーを含む層のパターン形成方法。
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