セラミックヒーター１０は、ウエハ載置面を有する円盤状のセラミックプレート２０と、このセラミックプレート２０のウエハ載置面とは反対側の面に接合された中空状のシャフト４０とを備えている。セラミックプレート２０の内部には、セラミックプレート２０の中央側から外周面の手前に至る熱電対通路２６が形成されている。セラミックプレート２０の裏面には、パイプ形状の熱電対ガイド３２が取り付けられている。熱電対ガイド３２のガイド穴３２ａは、熱電対通路２６のうちセラミックプレート２０の中央側に連通しており、熱電対通路２６の延びる方向に対して斜めになるように設けられている。