Invention Application
- Patent Title: 一种激光诱导等离子体注入基材的方法及装置
- Patent Title (English): Method and apparatus for implanting laser-induced plasma into substrate
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Application No.: PCT/CN2011/077731Application Date: 2011-07-28
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Publication No.: WO2012151789A1Publication Date: 2012-11-15
- Inventor: 任旭东 , 李应红 , 皇甫喁卓 , 汪诚 , 阮亮 , 何卫峰 , 周鑫 , 楚维 , 张永康 , 戴峰泽 , 张田
- Applicant: 江苏大学 , 中国人民解放军空军工程大学 , 任旭东 , 李应红 , 皇甫喁卓 , 汪诚 , 阮亮 , 何卫峰 , 周鑫 , 楚维 , 张永康 , 戴峰泽 , 张田
- Applicant Address: 中国江苏省镇江市学府路301号, Jiangsu 212013 CN
- Assignee: 江苏大学,中国人民解放军空军工程大学,任旭东,李应红,皇甫喁卓,汪诚,阮亮,何卫峰,周鑫,楚维,张永康,戴峰泽,张田
- Current Assignee: 江苏大学,中国人民解放军空军工程大学,任旭东,李应红,皇甫喁卓,汪诚,阮亮,何卫峰,周鑫,楚维,张永康,戴峰泽,张田
- Current Assignee Address: 中国江苏省镇江市学府路301号, Jiangsu 212013 CN
- Agency: 南京经纬专利商标代理有限公司
- Priority: CN201110120841.2 20110511
- Main IPC: C23C14/48
- IPC: C23C14/48 ; C23C14/16
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