加工に用いるレーザーの光伝送用ファイバーの先端に用いるコリメータ付光アイソレータにおいて、戻り光を入射光系統から孤立させ、入射ファイバ、レーザー発振器、コリメータおよびアイソレータへ光エネルギーが伝熱することを防止することが課題である。解決の手段として、加工物体からの戻り光がアイソレータを出てコリメータレンズ５を戻った後に集光する点に受光用ファイバー２２および２３を配置し、セラミックス管２４に導き熱に変換し放散させる。