Invention Application
WO2013011032A1 ENSEMBLE FONCTIONNEL DE MICROMECANIQUE 审中-公开
微电子功能组件

ENSEMBLE FONCTIONNEL DE MICROMECANIQUE
Abstract:
L'invention concerne un ensemble fonctionnel (100) de micromécanique comprenant au moins une première pièce (10), ayant une première couche définissant une première surface de contact destinée à venir en contact de frottement avec une deuxième surface de contact définie par une deuxième couche ladite deuxième couche appartenant, soit à ladite première pièce (10) soit à au moins une deuxième pièce de micromécanique (20) constituant avec ladite première pièce (10) ledit ensemble (100) caractérisé en ce que les première et deuxième couches comportent chacune du carbone à hauteur d'au moins 50% d'atomes de carbone et en ce qu'elles présentent au niveau des première et deuxième surfaces de contact des orientations de plans cristallins en surface différentes l'une de l'autre.
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