Die Erfindung betriffteine Anordnung zur Bestimmung des Kontaktwiderstands elektrisch leitfähiger Schichten, welche umfasst: einen Schichtenaufbau, bei dem eine elektrisch leitfähige erste Schicht auf eine elektrisch leitfähige zweite Schicht aufgebracht ist, wobei die erste Schicht die zweite Schicht in einer Kontaktzone kontaktiert; zwei Stromelektroden, wobei die eine Stromelektrode mit der ersten Schicht und die andere Stromelektrode mit der zweiten Schicht elektrisch verbunden ist; zwei Spannungsmesselektroden, wobei die eine Spannungsmesselektrode in einer ersten Messzone mit der ersten Schicht verbunden ist, wobei sich die erste Messzone aus einem der Kontaktzone gegenüberliegenden Bereich der ersten Schicht und einem diesen Bereich quer zur Stromrichtung fluchtend verlängernden Bereich der ersten Schicht ergibt, und wobei die andere Spannungsmesselektrode in einer zweiten Messzone mit der zweiten Schicht verbunden ist, wobei sich die zweite Messzone aus einem die Kontaktzone quer zur Stromrichtung fluchtend verlängernden Bereich der zweiten Schicht ergibt. Bei Alternativen umfasst die erste Schicht wenigstens zwei voneinander getrennte Schichtabschnitte, welche von den Elektroden kontaktiert werden. Die Erfindung erstreckt sich auch auf entsprechende Verfahren zur Bestimmung des Kontaktwiderstands.