可変容量装置（１）は、固定基板（２Ａ）と、可動部（３Ａ）と、駆動電極（５Ａ，５Ｂ）と、ＲＦ容量電極（６）と、絶縁膜（１２Ａ）と、を備える。可動部（３Ａ）は、固定基板（２Ａ）に対向していて、固定基板（２Ａ）との間隔を変えることができる。駆動電極（５Ａ，５Ｂ）は、可動部（３Ａ）に対向して、固定基板（２Ａ）に形成されている。ＲＦ容量電極（６）は、可動部（３Ａ）に対向するとともに駆動電極（５Ａ，５Ｂ）から離間して固定基板（２Ａ）に形成されている。絶縁膜（１２Ａ）は、可動部（３Ａ）と駆動電極（５Ａ，５Ｂ）との間に形成されている。駆動電極（５Ａ，５Ｂ）に印加される電圧の高さと可動部（３Ａ）に印加される電圧の高さとは、周期的に切り替わり、ＲＦ容量電極（６）に印加される電圧の高さと可動部（３Ａ）に印加される電圧の高さとは常に一致する。