发明申请
- 专利标题： ガラス基板の搬送装置及び搬送方法
- 专利标题（英）： Glass substrate conveyance device and conveyance method
- 专利标题（中）： 玻璃基板输送装置和输送方法
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申请号： PCT/JP2013/050411申请日： 2013-01-11
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公开(公告)号： WO2013132882A1公开(公告)日： 2013-09-12
- 发明人: 田川 広行 , 塚田 将夫 , 佐伯 彰久 , 三成 泰紀
- 申请人： 日本電気硝子株式会社
- 申请人地址： 〒5208639 滋賀県大津市晴嵐2丁目7番1号 Shiga JP
- 专利权人： 日本電気硝子株式会社
- 当前专利权人： 日本電気硝子株式会社
- 当前专利权人地址： 〒5208639 滋賀県大津市晴嵐２丁目７番１号 Shiga JP
- 代理机构： 城村 邦彦
- 优先权： JP2012-051769 20120308
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; B65G49/06
摘要：
縦姿勢のガラス基板（Ｇ）における上縁部（Ｕ）を把持してガラス基板（Ｇ）を吊り下げ支持する複数の把持手段（１０）、（１１）を備え、把持手段（１０）、（１１）により吊り下げ支持されたガラス基板（Ｇ）を上縁部（Ｕ）に沿う搬送方向Ｔに搬送するガラス基板の搬送装置（１）であって、複数の把持手段（１０）、（１１）の内、少なくとも一の把持手段を、水平面上で位置及び／または姿勢が可変とされた可動把持手段（１０）とした。
IPC分类:
