ブロック・コポリマーの第１のポリマー及び第２のポリマーを自己組織化し、ガイド層２１０内に形成された周期パターン形成する方法は、第１のガスから生成されたプラズマにより前記第２のポリマーをエッチングする第１のエッチング工程と、前記第１のエッチング工程後、第２のガスから生成されたプラズマにより前記第２のポリマーのエッチング部分以外の前記第１のポリマー及び前記ガイド層の表面に第１の保護膜２７０を成膜する第１の成膜工程と、前記第１の成膜工程後、前記第１のガスから生成されたプラズマにより前記第２のポリマーを更にエッチングする第２のエッチング工程と、を含む。