Invention Application
- Patent Title: PROCÉDÉ DE RÉALISATION DE DÉTECTEURS INFRAROUGES
- Patent Title (English): Method for producing infrared detectors
- Patent Title (中): 生产红外探测器的方法
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Application No.: PCT/EP2013/059421Application Date: 2013-05-06
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Publication No.: WO2013167553A1Publication Date: 2013-11-14
- Inventor: HUET, Stéphanie , AIT-MANI, Abdenacer , DI CIOCCIO, Léa
- Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- Applicant Address: 25 rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" F-75015 Paris FR
- Assignee: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- Current Assignee: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
- Current Assignee Address: 25 rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" F-75015 Paris FR
- Agency: HAUTIER, Nicolas et al.
- Priority: FR1201324 20120509
- Main IPC: H01L27/146
- IPC: H01L27/146
Abstract:
Procédé de réalisation d'au moins un détecteur infrarouge photosensible par assemblage d'un premier composant (100, 230) électronique comportant une pluralité de photodiodes (110) sensibles au rayonnement infrarouge et d'un deuxième composant (400) électronique comprenant au moins un circuit électronique de lecture de la pluralité de photodiodes, le procédé étant caractérisé en ce qu'il comprend : l'obtention sur chacun des premier (100, 230) et deuxième (400) composants d'une face de liaison (192, 492) formée au moins partiellement par une couche (210, 405) à base d'oxyde de silicium (Si02); une étape de collage du premier composant (100, 230) et du deuxième composant (400) par leurs faces de liaison (192, 492), réalisant ainsi le collage direct des deux composants (100, 230, 400). Ce procédé permet de simplifier l'hybridation de composants hétérogènes pour réaliser un détecteur infrarouge. L'invention porte également sur un détecteur infrarouge et sur un ensemble pour la réalisation d'un tel détecteur.
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IPC分类: