基板上に複数個のチップを実装する実装方法は、基板に複数個のチップの各々を仮接合する仮接合工程と、基板に仮接合された複数個のチップの各々を基板に本接合する本接合工程とを備える。仮接合工程は、第１ステップと第２ステップとからなる第１基本工程を、基板に実装する複数個のチップの数だけ繰り返す。第１ステップは、基板１の第１金属層とチップの第２金属層とを位置合わせする。第２ステップは、第２金属層と第１金属層とを固相拡散接合することで仮接合する。本接合工程は、第３ステップと第４ステップとからなる第２基本工程を、基板上の複数個のチップの数だけ繰り返す。第３ステップは、基板に仮接合されているチップの位置を認識する。第４ステップは、第２金属層と第１金属層とを液相拡散接合することで本接合する。