Invention Application
- Patent Title: 射频信号相位可调节的射频电源
- Patent Title (English): Radiofrequency signal phase-adjustable radiofrequency power supply
-
Application No.: PCT/CN2012/087208Application Date: 2012-12-21
-
Publication No.: WO2014082359A1Publication Date: 2014-06-05
- Inventor: 李勇滔 , 李英杰 , 夏洋 , 王文东
- Applicant: 中国科学院微电子研究所
- Applicant Address: 中国北京市朝阳区北土城西路3号, Beijing 100029 CN
- Assignee: 中国科学院微电子研究所
- Current Assignee: 中国科学院微电子研究所
- Current Assignee Address: 中国北京市朝阳区北土城西路3号, Beijing 100029 CN
- Agency: 北京华沛德权律师事务所
- Priority: CN201210497318.6 20121128
- Main IPC: H03H7/18
- IPC: H03H7/18
Abstract:
本发明公开了一种射频信号相位可调节的射频电源，所述射频电源包括射频信号发生器、射频功率放大电路、供电线路和射频功率检测器；所述射频信号发生器包括相位调节电路，所述相位调节电路用于调节外输入射频信号的相位。由于本发明在射频信号发生器内嵌入有相位调节电路，因此能够调节同步接入的射频信号的相位，消除本射频电源与提供射频信号的射频电源之间的信号相位差，避免串扰，提高工艺稳定性。
Information query
