Invention Application
WO2015033669A1 力学量測定装置およびそれを用いた圧力センサ 审中-公开
机械数量测量装置和压力传感器使用相同

力学量測定装置およびそれを用いた圧力センサ
Abstract:
従来以上に高い精度や長期信頼性を有する力学量測定装置およびそれを用いた圧力センサを提供する。 本発明に係る力学量測定装置は、半導体基板表面に形成された不純物拡散抵抗体によって構成されるひずみ検出領域を備えており、前記ひずみ検出領域は互いに同心状に配設された複数のホイートストンブリッジを有し、前記複数のホイートストンブリッジの内の最内周のホイートストンブリッジは前記同心を軸にした2回対称の形状となる2つの抵抗体群または4回対称の形状となる4つの抵抗体群からなり、前記複数のホイートストンブリッジの内の他のホイートストンブリッジは前記同心を軸にした4回対称の形状となる4つの抵抗体群からなり、前記ホイートストンブリッジを構成する4つのブリッジ抵抗のそれぞれは当該ホイートストンブリッジの前記抵抗体群の数の倍数個の前記不純物拡散抵抗体からなり、前記抵抗体群のそれぞれは前記4つのブリッジ抵抗を構成する前記不純物拡散抵抗体を少なくとも1個ずつ有していることを特徴とする。
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