Invention Application
- Patent Title: 実装装置および実装方法
- Patent Title (English): Mounting device and mounting method
- Patent Title (中): 安装设备和安装方法
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Application No.: PCT/JP2014/074630Application Date: 2014-09-18
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Publication No.: WO2015045997A1Publication Date: 2015-04-02
- Inventor: 西村 幸治 , 寺田 勝美 , 真下 祐樹 , 川上 幹夫
- Applicant: 東レエンジニアリング株式会社
- Applicant Address: 〒1030021 東京都中央区日本橋本石町三丁目3番16号(日本橋室町ビル) Tokyo JP
- Assignee: 東レエンジニアリング株式会社
- Current Assignee: 東レエンジニアリング株式会社
- Current Assignee Address: 〒1030021 東京都中央区日本橋本石町三丁目3番16号(日本橋室町ビル) Tokyo JP
- Priority: JP2013-196649 20130924
- Main IPC: H01L21/60
- IPC: H01L21/60 ; B23K3/04
Abstract:
接合時に、所望の接合温度プロファイルを得るための、加熱手段の設定温度プロファイルを比較的容易に求めることが出来て、接合品質に機差のない実装装置および実装方法を提供する。具体的には、半導体チップを配線基板に加熱圧着して接合する実装で、配線基板を保持するステージと、半導体チップを配線基板に押圧する熱圧着ツールと、熱圧着ツールを加熱する加熱手段と、前記加熱手段を任意の設定温度プロファイルで稼働させる機能を有した制御手段とを備え、前記制御手段が、前記加熱手段の設定温度と、接合部温度の関係を表す伝達関数を得ることで、接合部温度を所望のプロファイルとするための、前記加熱手段の設定温度プロファイルを求める機能を有している、実装装置および実装方法を提供する。
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IPC分类: