초음파 진동 발생부의 주변온도를 냉각하여 초음파 진동 발생부가 고온에 노출되는 환경에서도 초음파 진동 발생부의 온도를 일정하게 유지할 수 있는 초음파 분무장치를 제공한다. 초음파 분무장치는 초음파를 발생하고 분사재를 무화시키는 초음파 진동 발생부, 초음파 진동 발생부의 중심을 관통하는 중심축을 따라 분사재가 이동하는 분사유로를 포함하고, 분사유로의 일측단으로부터 분사재를 공급받고 분사유로의 타측단에는 분사재를 분사하는 노즐팁을 포함하는 노즐부, 초음파 진동 발생부를 둘러싸고 있고, 내부에 복수의 열교환실을 갖는 하우징, 그리고 초음파 진동 발생부를 둘러싸고 있고, 복수의 열교환실을 구분하는 분리벽을 포함하고, 초음파 진동 발생부로부터 발생된 열을 냉각하는 열교환부를 포함하며, 복수의 열교환실은 하우징 내부에서 초음파 진동 발생부의 주변에 위치하고 발열공간을 포함하는 발열실, 그리고 발열실을 둘러싸고 있으며 발열실과 접하는 열교환부를 사이에 두고 격리되어 냉각공간을 포함하는 냉각실을 포함한다.