可调整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法
Abstract:
一种可调整紫外光照射能量的紫外光清洗基板的方法,包括如下步骤:步骤1、提供紫外光灯(10)与待紫外光清洗的基板(20);步骤2、在紫外光灯(10)与待紫外光清洗的基板(20)之间设置数块遮光板(30);步骤3、转动遮光板(30),调整紫外光灯(10)发出的紫外光照射到基板(20)上的面积,从而控制单位时间内紫外光照射到基板(20)上的能量;步骤4、紫外光灯(10)发出紫外光清洗基板(20)。通过该方法可以灵活调节用于基板清洗的紫外光能量,达到既能有效去除黏附于基板表面的有机物,又能避免设于基板上的电路图形被静电击伤的目的。
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