一台の装置で数十ミリの大きい粒径からサブミクロンまでのダイナミックレンジの大きい微細化（微粒化）を可能する微細化装置を提供する。羽根車（８）をケース（２）の吸入口（３）側から仕切り壁（１６）とは反対側へケース（２）の送出口（６）側に回転させて、試料を含む流体を羽根車（８）の回転方向に移送し、ケース（２）の吸入口（３）側から送出口（６）側に向けて収束するポンプ室（１３）によって試料を含む流体を加圧することでケース（２）の送出口（６）から送出する容積型のポンプを構成し、羽根車（８）のボス部（１２）から羽根（９）に至る側端面と、ケース（２）の仕切り壁（１６）の側端面のそれぞれに、擦り合わせ面（２０ｂ）、（２０ａ）を有し、これらの擦り合わせ面での羽根車（８）の回転による擦り合わせおよび羽根車（８）の羽根によるせん断によって試料を微細化することを特徴としている。