Invention Application
WO2015182238A1 レーザ加工装置及びレーザ加工方法 审中-公开
激光加工设备和激光加工方法

レーザ加工装置及びレーザ加工方法
Abstract:
 レーザ加工装置300は、レーザ光Lを出射するレーザ光源202と、レーザ光Lを加工対象物1に集光する集光光学系204と、レーザ光Lが少なくとも第1加工光及び第2加工光を含む0次光及び±n次光(nは自然数)に分岐されて、第1加工光が第1集光点に集光されると共に第2加工光が第2集光点に集光されるように、レーザ光Lを変調する反射型空間光変調器203と、加工対象物1に集光される0次光及び±n次光のうち第1加工光及び第2加工光に対して外側に集光される光を遮断する光遮断部220と、を備える。
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