本発明の希釈液製造方法は、第１の液体に対して第２の液体を添加することで該第２の液体の希釈液を製造する希釈液製造方法であって、第１の配管１１に第１の液体を流す段階と、第２の液体を貯留するタンク１２内の圧力を制御して、タンク１２と第１の配管１１とを接続する第２の配管１３を通じて、第１の配管１１内の第１の液体に第２の液体を添加する段階と、を含んでいる。第２の液体を添加する段階は、第１の配管１１内を流れる第１の液体または希釈液の流量を測定する段階と、希釈液の成分濃度を測定する段階と、流量および成分濃度の測定値に基づき、希釈液の成分濃度が所定の値になるようにタンク１２内の圧力を制御する段階と、を含んでいる。