第１のピック及び第２のピックを有する搬送機構を用いて、熱処理室と該熱処理室と異なる他の室との間において基板を順次搬送する基板搬送方法であって、未処理の基板を前記第１のピックに保持し、前記熱処理室まで搬送する第１の工程と、前記熱処理室にて熱処理された処理済の基板を前記第２のピックに保持し、前記第１のピックが保持した未処理の基板を前記熱処理室に搬入する第２の工程と、前記第２のピックに保持した前記処理済の基板を前記他の室まで搬送する第３の工程と、前記他の室内の未処理の基板を前記第１のピックに保持し、前記第２のピックが保持した処理済の基板を前記他の室に搬入した後、前記第１のピック及び前記第２のピックのいずれも基板を保持していない状態にする第４の工程とを有する基板搬送方法が提供される。