一种自适应沟槽的调焦调平装置，用于测量被测物体（400）的表面的高度和倾斜度，被测物体（400）的表面具有周期性的沟槽（401）且由一运动台承载，该调焦调平装置依次包括照明单元、投影单元、探测单元及探测器（212），所述被测物体（400）沿光路位于投影单元和探测单元之间，所述投影单元包括投影狭缝（203），用于在被测物体（400）上形成多个测量点（501），且每个测量点（501）包括至少三个测量子光斑（502），其中，所述至少三个测量子光斑（502）以不等间距排列的方式设置，使得当所述多个测量点（501）投影在被测物体（400）的表面时，每个测量点（501）的所述至少三个测量子光斑（502）中的至少两个能够位于沟槽（401）外，从而测量被测物体（400）的表面的高度和倾斜度。