Invention Application
WO2016208978A1 폐가스 성상에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 폐가스 처리 스크러버
审中-公开
废气处理组合气体液体接触装置的组合，具有多种功能，因此适合于根据废气处理进行处理
- Patent Title: 폐가스 성상에 따라 처리에 적합하도록 복수기능의 기액접촉수단으로 조합된 폐가스 처리 스크러버
- Patent Title (English): Waste gas-treating scrubber formed of combination of gas-liquid contact means having multiple functions so as to be appropriate for treating according to waste gas properties
- Patent Title (中): 废气处理组合气体液体接触装置的组合，具有多种功能，因此适合于根据废气处理进行处理
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Application No.: PCT/KR2016/006662Application Date: 2016-06-23
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Publication No.: WO2016208978A1Publication Date: 2016-12-29
- Inventor: 서익환 , 박대연 , 박승철 , 김지영
- Applicant: 주식회사 효진아이디에스 , 삼성엔지니어링 주식회사
- Applicant Address: 31259 충청남도 천안시 동남구 동면 충절로 2761, Chungcheongnam-do KR
- Assignee: 주식회사 효진아이디에스,삼성엔지니어링 주식회사
- Current Assignee: 주식회사 효진아이디에스,삼성엔지니어링 주식회사
- Current Assignee Address: 31259 충청남도 천안시 동남구 동면 충절로 2761, Chungcheongnam-do KR
- Agency: 민만호
- Priority: KR10-2015-0091154 20150626
- Main IPC: H01L21/02
- IPC: H01L21/02 ; B01D47/06 ; B01D53/78 ; H01L21/67 ; H01L21/60
Abstract:
본 발명은 반도체 제조공정에서 배출하는 과불화탄소(PFC) 배기가스의 성상 및 농도에 따라 그 처리에 적합하도록 기액접촉 기능이 상이한 단위 기액접촉수단을 복수개 조합한 다층의 기액접촉수단 조합체에 의해 배기가스를 처리하는 스크러버에 관한 것이다. 상기 스크러버는 세정액과 과불화탄소(PFC) 배기가스를 접촉시켜 배기가스를 흡수 정화하는 습식 스크러버에 있어서, 스크러버 내부에 설치되는 기액접촉수단이 기액접촉 기능이 상이한 기액접촉수단 단위체를 복수개 조합한 다층구조로 이루어진다.
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