Invention Application
- Patent Title: 圧力センサ
- Patent Title (English): Pressure sensor
- Patent Title (中): 压力传感器
-
Application No.: PCT/JP2016/070237Application Date: 2016-07-08
-
Publication No.: WO2017010416A1Publication Date: 2017-01-19
- Inventor: 山田 達範 , 津荷 俊介 , 藤 祐介 , 岩渕 盾紀 , 後藤 大希
- Applicant: 日本特殊陶業株式会社
- Applicant Address: 〒4678525 愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 Aichi JP
- Assignee: 日本特殊陶業株式会社
- Current Assignee: 日本特殊陶業株式会社
- Current Assignee Address: 〒4678525 愛知県名古屋市瑞穂区高辻町14番18号 Aichi JP
- Agency: 特許業務法人鳳国際特許事務所
- Priority: JP2015-140342 20150714; JP2015-161339 20150818; JP2016-084836 20160420
- Main IPC: G01L23/22
- IPC: G01L23/22
Abstract:
測定誤差を小さくできる技術を開示する。 圧力センサは、筐体と、筐体の先端側に接合部を介して接合され圧力に応じて撓むダイアフラムと、圧力によって変化する電気的特性を有するセンサ部と、ダイアフラムとセンサ部とを接続する接続部と、ダイアフラムの先端側に配置されダイアフラムに直接的または間接的に接続され熱を受ける受熱部と、を備えている。軸線に垂直な断面上で、受熱部からダイアフラムまでの部分の断面を包含し輪郭の全長が最小の仮想的な最小包含領域の面積の最小値を、接続面積Snとし、ダイアフラムと受熱部とを軸線に垂直な投影面上に投影する場合の投影面上において、接合部に囲まれた領域の面積を、ダイアフラム有効面積Sdとする場合に、(Sn/Sd)≦0.25、が満たされる。
Information query