酸素により性能劣化する素材を含む塗布液でフィルムを製造する際に、性能劣化のない機能性フィルムを製造できる機能性フィルムの製造方法及び製造装置を提供する。機能性フィルムの製造装置は、バックアップローラ４４とダイコータ３６とを有し、バックアップローラ４４に巻き掛けられて搬送される可撓性支持体Ｗに、溶存酸素濃度が１０００ｐｐｍ以下で且つ有機溶媒が１００００ｐｐｍ以下の塗布液を塗布して塗膜フィルムＣＦを形成する塗布装置１４と、バックアップローラ４４上で塗膜フィルムＣＦの塗膜面の側とフィルムＦとを貼合する貼合装置１６と、バックアップローラ４４上の塗布開始位置Ｐから貼合開始位置Ｑまでの塗膜面を含む空間Ｘを不活性ガス雰囲気にする不活性ガス雰囲気形成装置１８と、を備える。