Invention Application
- Patent Title: VORHERBESTIMMEN DER DICKE EINER BESCHICHTUNG
- Patent Title (English): Predetermining the thickness of a coating
- Patent Title (中): BEFORE确定涂层的厚度
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Application No.: PCT/EP2016/067385Application Date: 2016-07-21
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Publication No.: WO2017032518A1Publication Date: 2017-03-02
- Inventor: SADOVOY, Alexandr , WITZEL, Martin
- Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
- Applicant Address: Wittelsbacherplatz 2 80333 München DE
- Assignee: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
- Current Assignee: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
- Current Assignee Address: Wittelsbacherplatz 2 80333 München DE
- Priority: DE10 20150824
- Main IPC: G01B21/08
- IPC: G01B21/08 ; B05B7/00 ; B05B13/00 ; C23C4/12 ; G01B11/06
Abstract:
Es wird ein Verfahren zum Vorherbestimmen der Dicke einer Beschichtung, die auf einem Substrat angeordnet werden soll, bereitgestellt. Dabei wird ein Spritzflecks auf der Oberfläche des Substrats oder eines Testsubstrats angeordnet. Das Volumen des Spritzflecks wird bestimmt und auf der Basis des bestimmten Volumens die Dicke einer aufzutragenden Schicht im Voraus berechnet. Weiterhin wird eine Anordnung zum Vorherbestimmen der Dicke einer Beschichtung bereitgestellt.
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