一种有机半导体薄膜晶体管，包括基板（110）、数据线（121）、中转区（122）、源极（131）、漏极（132）、主动层图案（141）、第一绝缘层（142）、栅极（151）、第二绝缘层（152）以及透明电极（171），数据线以及中转区设置于基板之上，源极以及漏极设置于基板、数据线以及中转区之上，主动层图案设置于数据线、中转区、基板、源极以及漏极之上。通过设置主动层图案在源极以述漏极之上，避免了源极以及漏极受到等离子体轰击。