금속 전극과 절연 스페이서 사이의 접합부에서 맞대기 접합보다 상대적으로 접합력이 우수한 겹치기 접합이 이루어지고, 진공 브레이징 전에 구성 부품들을 정렬할 때 별도의 지그 없이도 구성 부품들을 정확히 정렬시킬 수 있도록 구성된 전계 방출 엑스선 소스 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 전계 방출 엑스선 소스 장치는, 전기 절연성을 띤 튜브형 구조물로서, 그 말단에 근접한 외측면에 길이 방향으로 소정의 폭만큼 메탈라이징 된 접합 외측면을 갖는 절연 스페이서; 및, 상기 절연 스페이서의 말단에 인접하게 배치된 금속 구조물로서, 상기 접합 외측면의 적어도 일부분과 중첩되게 브레이징 접합된 접합 밴드부를 갖는 금속 전극;을 포함한다.