Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von auf Silizium basierenden Anoden für Sekundärbatterien, wobei folgende Schritte zur Herstellung einer Anode (20) durchgeführt werden: - Abscheiden einer Silizium-Schicht (3) auf einem Korngrenzen (2) aufweisenden Metallsubstrat (1), wobei die Silizium-Schicht (3) zum Metallsubstrat (1) gerichtet eine erste Grenzfläche (14) aufweist, - Beheizen des Metallsubstrats (1) mittels einer Heizeinheit (22) auf eine Temperatur zwischen 200 °C und 1000°C, - Tempern des Bereiches der dem Metallsubstrat (1) abgewandten zweiten Grenzfläche (15) der Silizium-Schicht (3) mittels einer energieintensiven Bestrahlung während der Beheizung, - Erzeugen von Mehrphasen im Bereich der Silizium-Schicht (3) und des Metallsubstrats (1), bestehend aus amorphem Silizium und/oder kristallinem Silizium des Siliziums der Silizium-Schicht (3) und aus kristallinem Metall des Metallsubstrats (1) und aus Silizid und - Erzeugen von kristallinem Metall des Metallsubstrats (1).