发明申请
- 专利标题: 接合材およびそれを用いた接合方法
- 专利标题(英): WO2018062220A1 - Bonding material and bonding method using same
- 专利标题(中): 接合材料及使用其的接合方法
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申请号: PCT/JP2017/034837申请日: 2017-09-27
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公开(公告)号: WO2018062220A1公开(公告)日: 2018-04-05
- 发明人: 遠藤 圭一 , 金杉 実奈美 , 藤本 英幸 , 栗田 哲
- 申请人: DOWAエレクトロニクス株式会社
- 申请人地址: 〒1010021 東京都千代田区外神田4-14-1 Tokyo JP
- 专利权人: DOWAエレクトロニクス株式会社
- 当前专利权人: DOWAエレクトロニクス株式会社
- 当前专利权人地址: 〒1010021 東京都千代田区外神田4-14-1 Tokyo JP
- 代理机构: 大川 浩一
- 优先权: JP2016-194332 20160930; JP2017-183123 20170925
- 主分类号: B22F1/00
- IPC分类号: B22F1/00 ; B22F1/02
摘要:
銅基板などの金属基板に印刷し易く且つSiチップを金属基板に接合する際に予備焼成を行わなくても金属接合層内や金属接合層とSiチップや銅基板との界面にボイドが生じるのを防止して良好に接合することができる、接合材およびそれを用いた接合方法を提供する。金属粒子と溶剤と分散剤を含む金属ペーストからなる接合材において、金属粒子が、平均一次粒子径1~40nmの第1の金属粒子(小粒子)と、平均一次粒子径41~110nmの第2の金属粒子(中粒子)と、平均一次粒子径120nm~10μmの第3の金属粒子(大粒子)とからなり、金属粒子の合計100質量%に対して、第1の金属粒子を1.4~49質量%、第2の金属粒子を36質量%以下、第3の金属粒子を50~95質量%の割合にし、第2の金属粒子の質量に対する第1の金属粒子の質量の比を14/36以上にする。