Invention Application
- Patent Title: VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG EINER OBJEKTOBERFLÄCHE MITTELS EINER BEHANDLUNGSLÖSUNG
- Patent Title (English): METHOD AND DEVICE FOR TREATING AN OBJECT SURFACE BY MEANS OF A TREATMENT SOLUTION
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Application No.: PCT/DE2017/100953Application Date: 2017-11-10
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Publication No.: WO2018121810A3Publication Date: 2018-07-05
- Inventor: KÜHNLEIN, Holger , PLETTIG, Martin
- Applicant: RENA TECHNOLOGIES GMBH
- Applicant Address: Höhenweg 1 78148 Gütenbach DE
- Assignee: RENA TECHNOLOGIES GMBH
- Current Assignee: RENA TECHNOLOGIES GMBH
- Current Assignee Address: Höhenweg 1 78148 Gütenbach DE
- Agency: HEYERHOFF GEIGER & PARTNER PATENTANWÄLTE PARTGMBB
- Priority: DE10 20161230; DE10 20170511
- Main IPC: C25B1/26
- IPC: C25B1/26 ; C25B9/06 ; C25B9/18 ; C25B15/02 ; C25F3/12 ; C25F3/30 ; H01L21/02 ; H01L21/67 ; H01L31/18
Abstract:
Verfahren zur Behandlung wenigstens eines Teils einer Objektoberfläche mittels einer Behandlungslösung (12), bei welchem die Behandlungslösung (12) Wasser und eine Quelle für negativ geladene Chlorionen enthält und in der Behandlungslösung (12) mittels Elektrolyse Chlorgas (26) bereitgestellt wird, sowie Vorrichtung zur Behandlung wenigstens eines Teils einer Objektoberfläche aufweisend ein Prozessbecken (10; 60; 80), in welchem eine Behandlungslösung (12) angeordnet ist, in der Behandlungslösung (12) gelöstes Chlorgas, in der Behandlungslösung (12) angeordnete Elektroden (14, 16; 85, 86) unterschiedlicher Polarität und eine mit den Elektroden (14, 16; 85, 86) elektrisch leitend verbundene Stromquelle (18).
Public/Granted literature
- WO2018121810A2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BEHANDLUNG EINER OBJEKTOBERFLÄCHE MITTELS EINER BEHANDLUNGSLÖSUNG Public/Granted day:2018-07-05
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