晶圆级芯片的封装方法及封装体
Abstract:
一种晶圆级芯片的封装方法及封装体,涉及半导体技术领域。所述方法包括:将晶圆片与支撑载体(202)贴合;减小所述晶圆片的厚度;在所述晶圆片的背面蚀刻划片槽(3);在所述晶圆片的背面以及所述划片槽(2)内粘附绝缘层(203);在所述绝缘层(203)以及所述划片槽(2)的底部添加金属层(204);去除所述划片槽(3)的底部的所述金属层(204);在剩余的所述金属层(204)上以及所述划片槽(3)的底部粘附保护层(205);对所述保护层(205)进行加工得到粘附孔(4),所述粘附孔(4)的底部为外露的所述金属层(204);在所述粘附孔(4)的底部的所述金属层(204)上粘附锡球(206)。能够获得相对较薄的晶圆级芯片的封装体,增加了其机械结构强度,平衡了封装体积和封装强度的要求。
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