Invention Application
- Patent Title: 晶圆级芯片的封装方法及封装体
- Patent Title (English): WO2018133057A1 - Packaging method for wafer-level chip, and package
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Application No.: PCT/CN2017/072039Application Date: 2017-01-22
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Publication No.: WO2018133057A1Publication Date: 2018-07-26
- Inventor: 吴宝全 , 龙卫 , 柳玉平
- Applicant: 深圳市汇顶科技股份有限公司
- Applicant Address: 中国广东省深圳市福田保税区腾飞工业大厦B座13层, Guangdong 518045 CN
- Assignee: 深圳市汇顶科技股份有限公司
- Current Assignee: 深圳市汇顶科技股份有限公司
- Current Assignee Address: 中国广东省深圳市福田保税区腾飞工业大厦B座13层, Guangdong 518045 CN
- Agency: 北京天奇智新知识产权代理有限公司
- Main IPC: H01L21/56
- IPC: H01L21/56 ; H01L23/28 ; H01L23/48
Abstract:
一种晶圆级芯片的封装方法及封装体,涉及半导体技术领域。所述方法包括:将晶圆片与支撑载体(202)贴合;减小所述晶圆片的厚度;在所述晶圆片的背面蚀刻划片槽(3);在所述晶圆片的背面以及所述划片槽(2)内粘附绝缘层(203);在所述绝缘层(203)以及所述划片槽(2)的底部添加金属层(204);去除所述划片槽(3)的底部的所述金属层(204);在剩余的所述金属层(204)上以及所述划片槽(3)的底部粘附保护层(205);对所述保护层(205)进行加工得到粘附孔(4),所述粘附孔(4)的底部为外露的所述金属层(204);在所述粘附孔(4)的底部的所述金属层(204)上粘附锡球(206)。能够获得相对较薄的晶圆级芯片的封装体,增加了其机械结构强度,平衡了封装体积和封装强度的要求。
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IPC分类: