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发明申请
WO2018193991A1 容器、容器の製造方法及びアモルファスカーボン膜の評価方法 审中-公开

  • 专利标题： 容器、容器の製造方法及びアモルファスカーボン膜の評価方法
  • 专利标题（英）： WO2018193991A1 - Container, method for producing container, and method for evaluating amorphous carbon film
  • 申请号： PCT/JP2018/015568
    申请日： 2018-04-13
  • 公开(公告)号： WO2018193991A1
    公开(公告)日： 2018-10-25
  • 发明人: 高橋　佑来 , 森山　真樹
  • 申请人： 株式会社ニコン
  • 申请人地址： 〒1086290 東京都港区港南二丁目15番3号 Tokyo JP
  • 专利权人： 株式会社ニコン
  • 当前专利权人： 株式会社ニコン
  • 当前专利权人地址： 〒1086290 東京都港区港南二丁目１５番３号 Tokyo JP
  • 代理机构： 西澤 和純
  • 优先权： JP2017-084213 20170421
  • 主分类号： C23C14/06
  • IPC分类号： C23C14/06 ;  C01B32/05 ;  C23C14/24 ;  C23C16/26
容器、容器の製造方法及びアモルファスカーボン膜の評価方法
摘要：
試料を収容する収容部を１つ以上有する基材と、前記基材の少なくとも一部に形成された導電性膜と、前記導電性膜の少なくとも一部、又は前記基材の少なくとも一部に形成されたアモルファスカーボン膜と、を含み、前記アモルファスカーボン膜の少なくとも一部は、前記収容部内に露出している、容器。
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