Invention Application

진공 펌프
Abstract:
진공 펌프가 개시된다. 본 발명의 진공 펌프는, 진공 공간부와 배기 공간부가 마련된 펌프 본체; 펌프 본체의 상측부에 다층으로 적층 되어 결합 되며 진공 공간부 및 배기 공간부에 연결되는 복수의 진공 모듈; 및 복수의 진공 모듈 중 최상부에 배치되는 진공 모듈에 결합 되는 커버 하우징을 포함하고, 복수의 진공 모듈은 천장부가 개방되며 진공 공간부와 배기 공간부에 각각 연결되는 모듈 바디, 모듈 바디의 내부에 마련되며 회전축에 연결되어 회전되는 회전체 및 모듈 바디에 결합 되어 회전축을 회전 가능하게 지지하는 모듈 베어링을 포함하는 것을 특징으로 한다.
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