基板、および基板接合構造
摘要:
第1基板(101)は、第1主面(S1)を有する第1絶縁基材(10)、第1電極パッド(P11)、第1レジスト膜(1)を備える。第1電極パッド(P11)は、第1主面(S1)に形成される導体パターンである。第1レジスト膜(1)は、第1主面(S1)に形成され、第1電極パッド(P11)に近接して配置されている。第1レジスト膜(1)は、間隙を挟んで第1電極パッド(P11)から離間して配置されている。第1レジスト膜(1)の厚み(H1)は、第1電極パッド(P11)の厚み(H2)よりも厚い(H1>H2)。
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