Invention Application
- Patent Title: 증착 장치 및 증착 방법
- Patent Title (English): DEPOSITION APPARATUS AND DEPOSITION METHOD
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Application No.: PCT/KR2018/012451Application Date: 2018-10-19
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Publication No.: WO2019132206A1Publication Date: 2019-07-04
- Inventor: 남경훈 , 정용화 , 엄문종 , 김태엽 , 고경필 , 정우성
- Applicant: 주식회사 포스코
- Applicant Address: 37859 경상북도 포항시 남구 동해안로 6261 (괴동동), Gyeongsangbuk-do KR
- Assignee: 주식회사 포스코
- Current Assignee: 주식회사 포스코
- Current Assignee Address: 37859 경상북도 포항시 남구 동해안로 6261 (괴동동), Gyeongsangbuk-do KR
- Agency: 특허법인 씨엔에스
- Priority: KR10-2017-0179178 20171226
- Main IPC: C23C14/24
- IPC: C23C14/24 ; C23C14/26 ; C23C14/14
Abstract:
본 발명은 일정한 코팅 조성과 속도로 연속적으로 코팅이 가능한 장치 및 방법을 제공하는 것으로, 일실시예로 기판에 2 이상의 화합물 또는 원소를 코팅시키는 증착 장치로, 상기 2 이상의 화합물 또는 원소를 복수의 고상체로 공급하는 공급부; 상기 공급부에서 공급되는 고상체를 용융 및 증발시켜 증기를 형성하는 가열부; 상기 가열부에 연결되며, 상기 증기가 머무르며 전에 발생한 증기와 혼합되는 버퍼부; 및 상기 버퍼부에 연결되며 기판을 향하여 개구가 형성된 노즐을 포함하는 증착 장치를 제공한다.
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IPC分类: