Invention Application
- Patent Title: 게이트 밸브 시스템 및 이의 제어 방법
- Patent Title (English): GATE VALVE SYSTEM AND CONTROL METHOD THEREFOR
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Application No.: PCT/KR2019/007163Application Date: 2019-06-13
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Publication No.: WO2019240516A2Publication Date: 2019-12-19
- Inventor: 최대규
- Applicant: (주) 엔피홀딩스
- Applicant Address: 16679 경기도 수원시 영통구 신원로 176, Gyeonggi-do KR
- Assignee: (주) 엔피홀딩스
- Current Assignee: (주) 엔피홀딩스
- Current Assignee Address: 16679 경기도 수원시 영통구 신원로 176, Gyeonggi-do KR
- Agency: 김남식
- Priority: KR10-2018-0068939 20180615; KR10-2018-0070670 20180620; KR10-2018-0070671 20180620; KR10-2019-0002393 20190108; KR10-2019-0070243 20190613
- Main IPC: H01L21/677
- IPC: H01L21/677 ; H01L21/67 ; F16K3/18 ; F16K27/04 ; F16K3/02 ; F16K3/314 ; F16K49/00 ; F16K3/316
Abstract:
본 발명의 실시예들은 챔버를 개폐시키는 실링 플레이트, 실링 플레이트에 연결된 지지부, 지지부를 상하로 이동시키는 구동부, 실링 플레이트 및 지지부를 내부에 구비하고 통로 및 교환부가 형성된 밸브 하우징, 실링 플레이트의 이동에 의하여 통로를 밀폐시키는 제1밀폐 부재 및 실링 플레이트의 이동에 의하여 상기 교환부를 밀폐시키는 제2밀폐 부재를 포함하고, 구동부는 실링 플레이트를 통로 또는 교환부에 대응하는 위치로 이동시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브를 제공하여 실링 플레이트의 이동거리를 최소화 하여 게이트 밸브가 안정적으로 동작하고 제조비용이 절감되고 실링 플레이트의 이동시간을 절약할 수 있으며 게이트 밸브의 공간을 절약할 수 있다.
Public/Granted literature
- WO2019240516A3 게이트 밸브 시스템 및 이의 제어 방법 Public/Granted day:2019-12-19
Information query
IPC分类: