一种超临界二氧化碳深冷处理方法及其装置和气体回用系统
Abstract:
一种超临界二氧化碳深冷处理装置,包括深冷炉和若干自深冷炉外伸入炉内且均布在工件(16)之间的射流管(1),若干射流管(1)均与总进气管(5)连通。还包括设置于总进气管(5)内的第一热电偶(3)、第一压力表(4)和第一流量计(6);一一对应设置于所述工件(16)的中心位置的第二热电偶(7)及表面位置的第三热电偶(8);一一设置于所述深冷炉顶部的排气管内的第二压力表(13)和第二流量计(14);以及一一设置于所述深冷炉内部工作区的第三压力表(18)和第四热电偶(19);其中,各热电偶(3,7,8)、压力表(4,13,18)及流量计(6,14)分别连接数据采集和控制系统,所述采集和控制系统根据各所述热电偶、压力表及流量计监测的温度、压力以及气体流量数据,调节所述深冷炉内二氧化碳的流量和压力,以控制深冷过程的速度和工件(16)的温度。
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