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发明申请
WO2020256241A1 증착 장치 시스템 审中-公开

증착 장치 시스템
摘要：
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치 시스템은 진공 챔버; 상기 진공 챔버의 일면에 적어도 하나 이상 구비되는 뷰포트; 상기 진공 챔버 내부에 수용되고, 증착 원료가 수용되는 도가니와, 상기 도가니를 가열하는 히터 유닛과, 상기 증착 원료에서 증발된 증착 물질이 통과하는 적어도 하나 이상의 노즐을 포함하는 증착 장치; 상기 뷰포트 외부에 위치하고, 상기 뷰포트를 통하여 상기 노즐을 촬영하는 카메라; 상기 뷰포트 외부에 위치하고, 상기 뷰포트를 통하여 상기 노즐을 향하여 레이저 광선을 출력하는 레이저; 상기 레이저로부터 출력되는 레이저 광선을 상기 노즐의 한 지점으로 이동시키는 레이저 이동수단; 및 상기 카메라가 촬영한 노즐 이미지를 수신하고, 상기 노즐 이미지에서 클로깅을 감지한 결과에 따라 상기 레이저와 레이저 이동수단의 작동을 제어하는 제어부;를 포함할 수 있다.
摘要（英）：

A deposition device system according to one embodiment of the present invention can comprise: a vacuum chamber; at least one viewport provided on one surface of the vacuum chamber; a deposition device including a crucible which is accommodated in the vacuum chamber and in which a deposition raw material is accommodated, a heater unit for heating the crucible, and at least one nozzle through which a deposition material evaporated from the deposition raw material passes; a camera which is positioned outside the viewport and which photographs the nozzle through the viewport; a laser which is positioned outside the viewport, and which outputs a laser beam toward the nozzle through the viewport; a laser moving means for moving, toward one point of the nozzle, the laser beam outputted from the laser; and a control part for receiving a nozzle image captured by the camera, and controlling the operations of the laser and the laser moving means according to the result of having sensed clogging in the nozzle image.

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